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【365彩票】到10纳米工艺,半导体特殊气体纯度比其他材料高1000倍以上
作者:365彩票    日期:2022-11-23    阅读( )
本文摘要:在新一轮半导体产业发展周期中,芯片生产获得了前所未有的推崇程度。

在新一轮半导体产业发展周期中,芯片生产获得了前所未有的推崇程度。毫无疑问,这是一个准确的决策,但材料与设备等芯片生产上游,某种程度必须推崇。特别是在是材料方面,无论是硅片还是晶圆生产所需的各种化学材料,国内跟上都较为晚,市场基本掌控在国外厂商手里,国内制造商的议价能力不低,中秋节上游涨价,就面对利润被风化的风险。

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根据SEMI的数据,全球电子气体市场规模2014年已约35亿美元,其中类似气体大约占到65%。博纯材料董事会主席兼任首席执行官陈国富回应,半导体行业用于的高纯电子特气完全全部倚赖进口。

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导致这一状况的外因是国外公司不不愿向国内移往制备气体技术,也有意在中国设厂;内因是本土气体公司小作坊式生产状况广泛,很难超过晶圆生产的拒绝。电子气体市场状况(数据源于2015年的SEMI涉及报告)“半导体气体生产的瓶颈很多,从原材料纯度开始,到工艺、构建方法,以及PCB过程中对于杂质的掌控,都会影响到整个产品的质量。

”博纯材料产品经理施宏大回应。目前,博纯材料能生产锗烷、砷烷、乙硼烷等技术含量最低的关键气体,并已顺利通过台积电、东芝等多家电子气体最终用户测试和现场管理稽查,沦为必要服务国外最后客户的中国电子气体品牌。这次与英特格(Entegris)合作,代工英特格在芯片生产工艺中的垄断性专利产品(SDS),将更进一步强化博纯材料在半导体供应链中的地位。“跑到10纳米节点,从颗粒和杂质来说,半导体类似气体比其他任何专业都低1000倍以上。

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”英特格企业市场副总裁杨文革说,“类似气体所必须的纯度,相等于5000升水里面,无法有1滴水的杂质。半导体类似气体的安全性的问题更加最重要,只要百万分之三的浓度,就可以杀人,一瓶气体,就可以把整个厦门市人口歼灭。”那么,这样低危险性、高纯度的气体该如何存储运输呢?传统方法是使用高压钢瓶,但高压钢瓶不存在泄漏风险,一旦经常出现泄漏,砷烷、磷烷等低毒性气体将将不会导致很大的危害。

英特格SDS(SafeDeliverySource,安全性原料运输)解决方案使用了负压存储,气瓶压力高于一个大气压或大于室压,彻底避免了高危气体泄漏的可能性。据杨文革讲解,SDS钢瓶内部摆放碳基吸附剂,将类似气体全部导电,用于时使用真空泵提取。所以即使瓶口关上,危险性气体也会释放出。“全球只有一条生产线生产SDS钢瓶,供应Entegris在美国、韩国与中国的三个工厂。

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”杨文革认为,全球半导体离子注入气体市场80%以上由SDS方式存储运输。通过与博纯材料合作,英特格沦为全球首家在中国本地化生产类似气体产品的国际材料公司,英特格将继续加强中国业务,为中国日益增长的半导体市场获取反对。在双方合资新的化学工厂的开幕式上,英特格首席运营官ToddEdlund也回应:“此次合作是我们持续计划的一部分,通过本地化生产和技术支持更佳地服务于中国客户,符合他们对于生产和工艺研发的市场需求”。

“我们与博纯材料合作,为我们的类似化学品在中国生产修建出有了世界一流的工厂。


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